MEMS技术平台由微系统加工与封装两个平台构成,能提供从微芯片制造、芯片封装、器件测试和微系统集成的全流程服务。
超导器件工艺平台具备超导量子干涉器件、超导单光子探测器件等器件的自主研制和小批量超导器件的生产能力。
化合物工艺平台具备III-V族化合物半导体材料生长及光电子、微电子器件工艺加工、器件测试分析能力和器件封装能力。
微结构平台配备离子束加工和高性能材料分析系统,实现原子的三维重构、纳米尺度下成像、分析原子成分与分布、化合物键态等功能。
原位电子平台将先进电子谱学探测技术与材料生长手段集成于一体,实现材料的原子精度可控生长,开展原位及真实工作环境下的高精度电子结构测量。
太阳能平台开展太阳电池标准测试和校准、光伏组件可靠性以及寿命衰退机制等方面的研究和测试服务。
2022年12月9日,上海材料与制造大型仪器区域中心、北京信息电子技术大型仪器区域中心联合举办了科研“重器”应用与技术交流会。区域中心相关15个研究所,70多名技术人员通过线上与线下相结合的形式参加了本次交流会。
2019年8月19日,伊比利亚国际纳米技术实验室(INL)总干事Lars Montelius教授一行四人来我所访问,我所赵建龙副所长、传感技术联合国家重点实验室、信息功能材料国家重点实验室,以及所级公共技术服务中心的科研骨干等参加...