聚焦离子束扫描电子显微镜系统
Helios Nanolab 600
设备简介
聚焦离子束扫描电子显微镜Helios Nanolab600是美国FEI 公司(今赛默飞公司)第一代Helios机器,集成电子束与离子束系统,离子束加工的同时可用电子束实时观察加工进度及结果。
设备主要功能、技术指标和样品要求
高分辨成像 ;聚焦离子束对材料表面剥离加工;聚焦离子束与化学气体配合直接将原子沉积到衬底材料表面;以不同的液态金属为源材料直接将原子
沉积到衬底材料表面。
电子束分辨率0.9nm,电子束压1kV——30kV,电子束流1.3pA——22nA
离子束分辨率5nm,离子加速高压30kV,离子束流1.5pA——21nA
1.样品无磁性,无油污,无放射性。
2.样品高度小于5毫米,长宽最适宜的尺寸为10*10毫米。
收费标准 |
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管理人员及联系方式
吕士龙/021-62511070-81149 1997806@163.com
所属平台
信息功能材料微结构表征平台
存放位置
8号楼104房间