聚焦离子束扫描电子显微镜Helios Nanolab600是美国FEI 公司（今赛默飞公司）第一代Helios机器，集成电子束与离子束系统，离子束加工的同时可用电子束实时观察加工进度及结果。

　　高分辨成像 ；聚焦离子束对材料表面剥离加工；聚焦离子束与化学气体配合直接将原子沉积到衬底材料表面；以不同的液态金属为源材料直接将原子 沉积到衬底材料表面。
　　电子束分辨率0.9nm，电子束压1kV——30kV，电子束流1.3pA——22nA
　　离子束分辨率5nm，离子加速高压30kV，离子束流1.5pA——21nA
　　1.样品无磁性，无油污，无放射性。
　　2.样品高度小于5毫米，长宽最适宜的尺寸为10*10毫米。