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聚焦离子束扫描电子显微镜系统

Helios Nanolab 600

设备简介

  聚焦离子束扫描电子显微镜Helios Nanolab600是美国FEI 公司(今赛默飞公司)第一代Helios机器,集成电子束与离子束系统,离子束加工的同时可用电子束实时观察加工进度及结果。

设备主要功能、技术指标和样品要求

  高分辨成像 ;聚焦离子束对材料表面剥离加工;聚焦离子束与化学气体配合直接将原子沉积到衬底材料表面;以不同的液态金属为源材料直接将原子 沉积到衬底材料表面。
  电子束分辨率0.9nm,电子束压1kV——30kV,电子束流1.3pA——22nA
  离子束分辨率5nm,离子加速高压30kV,离子束流1.5pA——21nA
  1.样品无磁性,无油污,无放射性。
  2.样品高度小于5毫米,长宽最适宜的尺寸为10*10毫米。
收费标准
预约方式
管理人员及联系方式
吕士龙/021-62511070-81149 1997806@163.com
所属平台
信息功能材料微结构表征平台
存放位置
8号楼104房间

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所级中心拟通过统筹规划、优化资源配置,加强技术支撑系统建设,建立装备一流、管理一流、技术服务一流的所级公共技术服务中心,实现仪器设备的高效共享利用。 沪ICP备05005483号-1