提供标准单项工艺

提供标准单项工艺，或工艺组合，并对标准单项工艺质量提供保证。

提供标准4英寸硅基MEMS工艺加工服务

工艺流程设计与建议

提供微系统工艺设计、咨询服务，服务内容包括工艺流程设计与建议，流程单编写等，工艺可行性可免费咨询。

提供成熟的标准工艺

微系统平台只提供成熟的标准工艺，不提供非标准工艺加工。

新工艺开发所有权归上微系统所所有

一般情况下，不提供新工艺开发，如需新工艺开发，需承担所有工艺开发费用。新工艺开发所有权归上微系统所所有。

根据需方要求，可签署保密协议

根据需方要求，可签署保密协议，双方不得对第三方提供任何涉及工艺相关的内容。