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聚焦离子束扫描电子显微镜系统

Helios G4 UX

设备简介

  聚焦离子束扫描电子显微镜HeliosG4 UX借助无与伦比的低电压性能,Phoenix 聚焦离子束 (FIB) 镜筒不仅在高电压下提供高分辨率成像和铣削,而且现在将无与伦比的 FIB 性能扩展到低至 500V 的加速电压,从而制备损伤层为亚纳米级的超薄TEM和APT薄片样品,尤其适用小于10nm的关键尺寸,对复杂的结构进行快速精确的加工制备。该型号采用具有较高电流的下一代UC+单色仪技术,使得电子束镜筒能揭示最细致入微的细节,实现低能量下亚纳米级性能,同时配备7个集成的镜筒内和透镜下方探测器获取清晰、精良且不受电荷影响的对比度的最完整的样品信息。

设备主要功能、技术指标和样品要求

  制备超薄HR S/TEM和APT样品2对感兴趣的区域进行最精确的定位,提供最高质量多模态亚表层和三维信息3用于材料和器件结构进行快速精确的离子束刻蚀、离子束沉积和电子束沉积4制备微纳结构。
收费标准
预约方式
管理人员及联系方式
黄亚敏/021-62511070-5168 ymhuang@mail.sim.ac.cn
所属平台
信息功能材料微结构表征平台
存放位置
8号楼101房间

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所级中心拟通过统筹规划、优化资源配置,加强技术支撑系统建设,建立装备一流、管理一流、技术服务一流的所级公共技术服务中心,实现仪器设备的高效共享利用。 沪ICP备05005483号-1