上海微系统所根据中科院《中国科学院技术支撑系统建设实施方案》（计字〔2011〕50 号）的文件精神，统筹所内学科领域发展的需要，结合所内学科规划布局以及中长期发展规划目标，建立起支撑我所学科领域发展的综合性所级技术支撑平台——所级公共技术中心（简称“所级中心”）。所级中心围绕我所电子科学与技术、信息与通信工程两大学科，以研究所发展规划为指导，对接国家科创中心、实验室建设等国家战略需求，聚焦研究所重点研究领域，聚集先进的科研装备，培养高水平的技术支撑队伍。

　　所级中心平台包括MEMS技术平台、信息功能材料与微结构表征平台、材料器件工艺与表征平台、超导电子器件与电路工艺平台、生化制备与表征平台、原位电子结构综合表征平台、前沿交叉器件制备与表征平台等多个技术平台，服务所内科研创新活动的同时，积极对外开展测试和工艺加工服务，实现我所科研仪器装备的资源共享。

　　所级中心已有共享仪器设备近70台（套），总价值超1亿元人民币，且每台设备都配有相应的技术支撑人员进行操作和维护，通过统筹规划管理、优化资源配置，加强技术支撑系统建设，建立了装备一流、管理一流、技术一流的所级中心，实现仪器设备的高效共享利用。这些设备现已全部对外开放提供服务，欢迎所内外的用户通过中国科学院仪器设备共享管理平台（https://samp.cas.cn）进行预约和使用。