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太赫兹固态技术重点实验室

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科研装备

自动匀胶台和化合物半导体精细刻蚀设备

可见-THz荧光光谱仪

激光电路制版系统

低温探针显微测试系统

THz异步光学扫描光谱系统

毫米波天线暗室


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