购置自动匀胶台和化合物半导体精细刻蚀设备，完成了自动匀胶台和化合物半导体精细刻蚀设备的设备调研、谈判、招投标等购置工作，如图所示，进一步提升和完善太赫兹半导体器件工艺平台，为支撑科研工作和成果产出奠定了基础。