传感技术国家联合重点实验室经国家计委批准于1987年成立, 1989年通过国家验收,是我国传感技术领域最早建立的国家重点实验室。

   

  实验室的主要研究领域是以微电子技术和微纳加工技术为基础的微纳传感器及微系统。实验室重点研究基于新原理、新材料、新方法、新技术的核心传感技术和高性能传感器,发展集成化、智能化、网络化传感器系统,突破加工、封装与系统集成等关键技术,以满足国防、航天、工业、医疗等领域对传感技术的迫切需求。

   

  实验室建设至今近30年来,先后主持多个973863、重大专项、国家自然科学基金重点基金、重大仪器设备专项等多项国家重要科研项目,开展了微纳传感技术和微纳电子机械系统(MEMS/NEMS)加工技术及器件研究,在我国传感技术领域的应用基础研究方面发挥了引领骨干作用。

   

  目前实验室主要的固定研究人员近60人,其中研究员10名,正研级工程师2名,副研究员13名,高级工程师4名。实验室内有一批优秀专家,如973首席科学家、国家杰出青年基金获得者、终评优秀获得者等。

   

  实验室具有一流的设备和开放的加工工艺平台,并通过实验室开放课题等多种方式与国内多家单位合作,充分发挥了国家重点实验室在本领域发展中的支撑作用,并为国家培养了一批传感技术的专门人才。在依托单位的有利支持下,实验室将始终以国家需求为目标,发挥多学科交叉优势,努力成为具有一定国际影响力、能够满足国家传感技术领域需求的微纳传感器及微系统的研发平台。

   

  实验室在微纳制造技术和新型传感器研究方面已经具有一定的国际影响,在多种MEMS传感器、微纳加工与自组装技术、生化检测与分析系统等研究方面,处于国际先进和国内领先水平。在本领域的著名学术刊物如Lab On a chipIEEE TIEIEEE J-MEMSJMMSensors and Actuators等和论文高选择性的学术会议如IEDMIEEE MEMSTransducers等发表了一批高水平的论文及若干邀请报告。实验室在国内外学术活动中发挥了积极的作用,有多名专家在国内外重要学术组织中任职。