研究室简介

传感技术国家联合重点实验室经国家计委批准于1987年成立, 1989年通过国家验收,是我国传感技术领域最早建立的国家重点实验室。实验室在微纳制造技术和新型传...

研究方向
  • 微纳传感器设计与制造技术

    研究各种物理传感器(包括力学量、运动量、声学、热、电磁、光学、以及光纤传感器)研究各种气体传感器、化学传感器和生物传感器

  • MEMS/NEMS技术

    研究体硅微机械加工、表面微机械加工、准LIGA加工技术和各种非硅微加工技术 研究先进封装工艺和纳机械结构制造技术

  • 敏感效应、机制与材料研究

    研究各种先进传感器用纳米敏感材料技术和新敏感效应 研究纳米敏感结构的尺度效应,利用超灵敏传感器研究界面分子热力学与动力学机制

  • 传感微系统芯片技术

    基于微纳米集成技术研究各种微纳流控芯片、生化检测芯片及预处理芯片,研究传感微系统技术和阵列多传感器的联合检测技术

科研装备