应传感技术国家重点实验室主任李昕欣研究员邀请，中山大学吴天准博士来所做报告。欢迎大家参加！

报告题目：《“流光溢材”：多学科耦合的微纳尺度器件、工艺及材料的研究》

报告时间：2012年12月12日上午10:00-11:30

报告地点：五号楼十四层会议室，报告组织单位：传感技术国家重点实验室

摘要：微机电系统(MEMS)是高度学科交叉的典范，当半导体工艺与流体相遇催生了MicroTAS，与光电耦合引入了MOEMS，与纳米结合诞生了NEMS。在多学科耦合的研究背景下，吴天准博士的报告将以液滴的微操纵为主线，分“流”体器件、“光”电技术、“溢”工艺、人工“材”料四个环节，介绍近期在微器件、半导体工艺及人造材料方面的进展，包括以下内容：

“流”体器件：

1). CMOS兼容的低电压油滴传送方法“驻极体上液体介电泳动（L-DEPOE）”，首次将液体的驱动电压由通常的几十伏降为CMOS兼容的5 V，提出以分子极化观点统一EWOD和L-DEP。

2). 构建用于飞升（10-15 L）量级“人工细胞”的单分散油中水滴阵列。利用水在油中的可控扩散，将液滴动态收缩至1 mm量级，并示范了液滴阵列作为反应容器合成了绿色荧光蛋白。

“光”电技术：

3). 以Mg/MgO作为ZnO分子束外延生长新颖缓冲层的工艺、光电表征和紫外探测器研制。

“溢工艺”：

4). 仿生于甲虫和植物叶子，基于润湿的的PDMS表面功能涂层的自图形化方法，可以简便、高效地实现PDMS表面改性，并很好兼容PDMS-玻璃邦定方法。

5). 提出以过氧化氢溶液作为新型ZnO湿法刻蚀方法，并可增强发光特性。

人工“材”料：

6). 基于润湿的单壁碳纳米管图形化工艺，以简便、高精度的方式实现碳管的定位生长。

7). 基于MEMS工艺、具有特殊微结构的超疏液材料、在Si、高分子等多种材质上实现了超疏水超疏油效果，具有170 º左右接触角的极低润湿，可减少73%流动阻力和98%粘附力。

欢迎感兴趣的老师和同学参加！

报告人简介：

吴天准博士，中山大学理工学院助理教授。2002年和2004年在清华大学精仪系分别获得工学学士和硕士学位，2006-2009年获日本文部省奖学金就读于东京大学机械系，于2009年获工学博士学位。2009-2011年先后在东京大学工学部和大阪大学生物信息系任博士后， 2011年起受邀加盟中山大学-香港科大纳米材料与技术联合实验室。自2001年起从事MEMS、MicroTAS、纳米材料及工艺等研究，近年在Lab Chip、APL、Sensors and Actuators B, J. Micromech. Microeng.等期刊发表SCI/EI论文十余篇，在Transducers, MEMS, NEMS，MicroTAS, Biophysics等国际会议发表论文十余篇，申请国内外发明专利8项。担任Sensor. Actuat. B、J. Micromech. Microeng.等多个SCI期刊审稿人，主持NSFC青年基金和中央高校基本业务费项目，参与JST ERATO、973、NSFC重点项目等国内外基础研究课题多项。