2025年9月14日， 2025年全国颠覆性技术创新大赛“科学仪器”锦标赛决赛在上海闭幕。上海微系统所乔山研究员申报的“58 nm极紫外相干光源”项目荣获此次大赛二等奖。本次大赛共颁发1等奖2项，二等奖3项，三等奖5项。

“58 nm极紫外相干光源”项目由中国科学院上海微系统与信息技术研究所研发。极紫外相干光源是科学仪器及微纳加工领域的重要部件，目前的极紫外相干光源均基于多光子非线性效应产生，产生效率低，只能产生脉冲光源,由于不确定性原理限制，光谱带宽较宽，应用于谱仪时无法获得高的能量分辨率。高强度、短波长、窄线宽的相干光源是目前激光领域的一个瓶颈问题。本项目首次制备了58 nm连续极紫外相干光源，为光电子谱仪能量分辨的进一步提高奠定了基础。也为未来使用单光子效应产生极紫外激光的新途径。