科研进展

微系统所近三年连续在微电子领域顶级的国际电子器件会议(IEDM)上发表论文

  

International Electron Device Meeting (通常简称为IEDM)IEEE电子器件学会的年会,论文挑选严苛,其学术水平为国际该领域所共识。微系统所一室的科研人员自从2004年发表了打破我国十几年论文荒的第一篇论文之后,又在2006年、2007年和2008年连续发表三篇论文。同一单位能够连续三年发表IEDM论文,在国内仅此微系统所一家。

近三年的论文主要围绕微电子领域使用的MEMS技术。其中两篇涉及Post-CMOS兼容的RF-ICMEMS高性能片上无源组件技术,在研制中还得到了五室射频组在性能测试上的大力支持。2008年的论文涉及IC测试产业用新一代MEMS集成探针卡技术,题目是:“MEMS Vertical Probe Cards with Both Line-arrayed and Area-arrayed Ultra-dense Metal Tips for Wafer-level IC Testing”。该论文受到了业界的重视。在论文宣读前夕,美国Semiconductor International的编辑即向作者索要器件图片,称将在其杂志的封面上采用。

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