基于MEMS技术的高密度视网膜假体微电极阵列的研制

第一作者:	冯刚;隋晓红;王昱;李刚;柴新禹;
摘要:	提出了一种基于MEMS技术设计和制作应用于视网膜假体的柔性神经微电极阵列的工艺流程,引入离子束刻蚀的工艺大幅度减小了导线和线间的宽度,在单层聚合物上制作了高密度的微电极阵列(120通道,10×12阵列)。对实际制得的微电极阵列测试表明,其在1 kHz频率的电脉冲刺激下阻抗均值为16 kΩ±2 kΩ,相位差均值为-85o±3o,达到了预期设计目标。
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页码:	407-410
期:	6
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发表年度:	2013
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刊物名称:	中国医疗器械杂志
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