知识创新工程十年间，上海微系统所成功发射创新一号01、02和03星、“神舟七号”伴星，是我国微小卫星的重要研制基地；实施了上海世博会防入侵传感网、浦东机场防入侵系统、太湖水质监控传感网、南水北调中线安防系统等物联网应用示范工程，引领物联网核心技术，推升为国家战略性新兴产业；研发出具有自主知识产权的宽带无线通信系统，应用于汶川和玉树抗震抢险、上海世博会等重大事件，在抗震救灾、维稳、公共安全、数字化城市等方面发挥了不可替代作用；SOI材料实现产业化，填补国内空白，应用于国家重大关键工程，控股的上海新傲科技股份有限公司是国内唯一一个具有国际先进水平的国家级高端硅基材料产业化基地。

　“十二五”期间，上海微系统所作为中科院第一个系统级型号任务的技术总体单位，突破了多功能复合传感器等关键技术，确立了特种宽带无线传感网系统解决方案，实现了在我国相关单元的大规模应用和通信体制由窄带向宽带的技术跨越。研制成功国内第一颗基于SOI材料的0.13um工艺大规模高可靠专用集成电路ASIC芯片，应用于北斗导航卫星等国家关键工程，为我国航天核心元器件的自主可控奠定坚实基础。超导单光子探测器SNSPD助力中科大潘建伟院士在国际上首次实现防止黑客攻击的200公里测量器件无关量子密钥分发，成果入选两院院士评选2014年中国十大科技进展。超高g加速度传感器为我国战略装备提供了不可替代产品，打破国际禁运。发起设立的MEMS技术产业化平台-上海微技术工业研究院被列为上海建设具有全球影响力科创中心的“四梁八柱”。

    “十三五”期间，基于研究所在高端硅基材料方向的深厚积累以及SOI产业化的成功经验，发起成立上海硅产业集团，解决了国产大硅片有无问题，上海硅产业集团于2020年科创板上市；建成超导电子学卓越创新中心，单光子探测技术全球领先，助力“九章”实现量子优越，为我国光量子信息技术保持国际领先水平发挥了不可替代作用；成功实现我国特种通信从窄带向宽带的跨越，孵化的瀚讯公司于2019年在深圳创业版上市; 特种传感网技术实现列装，达西方发达国家同等水平；相变存储器新材料成果在Science上发表，嵌入式芯片实现小批量生产。初步建成以研究所为创新平台、微技术工业研究院为转化平台、新微集团为科技金融服务平台的协同创新体系的“三位一体”创新模式，获国务院“国家级双创示范基地”和科技部“传感器国家专业化众创空间”等荣誉称号。