垂直梳齿驱动的大尺寸MOEMS扫描镜
第一作者: |
刘英明;徐静;钟少龙;翟雷应;吴亚明; |
摘要: |
提出了一种采用垂直梳齿驱动器驱动的大尺寸、大扭转角度、低驱动电压微光机电系统(MOEMS)扫描镜。理论分析了垂直梳齿驱动器的工作原理,研究了垂直梳齿的制作工艺,采用体硅加工工艺结合硅-硅键合工艺制作了垂直梳齿驱动的MOEMS扫描镜。制作的扫描镜镜面尺寸为3mm×2mm,谐振频率为1.32kHz。测试表明,该扫描镜镜面具有很好的光学表面,其表面粗糙度的均方根只有8.64nm;扫描镜在驱动电压为95V时可以实现最大2.4°的扭转角度;测得其开启时的响应时间为1.887ms,关断时的响应时间为4.418ms。
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联系作者: |
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页码: |
400-407 |
期: |
2 |
学科: |
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外单位作者单位 : |
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发表年度: |
2013 |
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刊物名称: |
光学精密工程 |
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