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无交叠垂直梳齿平动微镜的驱动特性
第一作者:
翟雷应
摘要:
联系作者:
页码:
1772-1781
期:
08
学科:
外单位作者单位 :
发表年度:
2012
卷:
20
单位代码:
刊物名称:
光学精密工程
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