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一种SGOI结构的制备方法
专利名称: 一种SGOI结构的制备方法
专利名称英文:
专利类别: 发明
申请号: 2013107244657?
专利号:
申请日期: 2013-12-24
第一发明人: 张苗
第一发明人英文:
其他发明人: 陈达; 狄增峰; 薛忠营; 王刚; 母志强; 叶林
其他发明人英文:
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国外申请方式:
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实施情况:
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其他备注: 授权
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