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一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法
专利名称:
一种具有阶梯结构底电极的静电扭转微镜及其制作方法
专利名称英文:
专利类别:
发明
申请号:
01139287.8
专利号:
申请日期:
2001-12-29
第一发明人:
李铁
第一发明人英文:
其他发明人:
杨艺榕、王跃林
其他发明人英文:
国外申请日期:
国外申请方式:
国外申请方式英文:
专利授权日期:
2004-12-1
缴费情况:
缴费情况英文:
实施情况:
实施情况英文:
其他备注:
授权
其他备注英文:
专利证书号:
专利摘要:
专利摘要英文:
国外授权日期:
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