姓名：
获奖名称：	基于工艺选择性的MEMS三维制造关键技术与设计方法
主要完成人：	王跃林、鲍敏杭、李昕欣、李铁、熊斌、罗乐
完成单位：	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
获奖类别：	国家技术发明二等奖
获奖等级：
授奖部门：	国务院
获奖时间：	2012
成果介绍：