姓名：
获奖名称：	金刚石微电子和微机械器件制备关键技术
主要完成人：
完成单位：
获奖类别：	上海市科技进步三等奖
获奖等级：	三等奖
授奖部门：	上海市
获奖时间：	1996-12-1
成果介绍：