所级中心第二季度培训实录
为进一步提高平台仪器设备使用效率,加强仪器使用的安全意识和责任意识,提升科研人员对大型尖端仪器的理论知识水平和实际操作技能。
所级公共技术中心材料器件工艺与表征平台在2026年第二季度开展了13场专项培训,其中包含入室安全培训,SEM测试设备上机培训、减薄抛光设备上机培训、SVG直写光刻设备上机培训、MA6光刻设备上机培训及光刻工艺入门实操培训,累计培训学员45人。16名新学员通过了平台审核获得了净化室使用权限。
在平台第二季度开展的多项设备上机培训中,35名学员在完成培训后通过考核,获得设备操作许可,可以独立上机操作。
9名学员通过了MA6光刻设备上机考核;3名学员通过了SVG直写光刻设备上机培训;7名学员通过了ICP刻蚀设备上机考核;5名学员通过了RIE刻蚀设备上机考核;4名学员通过了退火设备上机考核;5名学员通过了台阶仪设备上机考核;1名学员通过了SEM测试设备上机考核;1名学员通过了减薄抛光设备上机考核。