2023年6月12日-7月10日，中科院上海微系统所联合上海大学开展了为期近一个月的微纳加工技术交流会。上海大学张继军老师，我所公共技术中心孙浩副主任，研究生部张腾胶主管带队，共12名大三学生参加本次实习交流活动。

　　第一周以工艺工程师讲授理论课程为主，课程包含刻蚀工艺设备基础培训、扫描电镜基础理论培训、微纳加工辅助设备培训、光刻工艺入门培训等。工程师结合实际案例与理论知识，深入浅出的讲解了各台设备运行原理与使用要点，为接下来的实践课程打下基础。

　　第二周、第三周为实践课程，同学们从自身的兴趣出发，设计并制作了具有个性化图案的光刻版，参与了所级中心为同学们准备的光刻工艺、刻蚀工艺，镀膜工艺等体验课程。在课程最后，同学们收到了自己设计与制作的工艺样品，并用扫描电镜表征了样品的厚度和形貌。

　　7月10日，同学们以小组汇报的形式对本次交流活动做了总结。第一组同学的汇报围绕光刻技术展开，介绍了先进光刻技术导向自主装DSA、基于空间光调节器的多焦点并行光刻技术、基于专利数据的全球光刻技术竞争态势研究。着重介绍了先进光刻技术导向自主装DSA，提出了在实际芯片制造中，其版图并非简单的规则图形，而是极具巧思的复杂结构，为了能够使DSA光刻技术发挥作用，需制备符合DSA图形化的引导图形。

　　第二组的汇报以AI在集成电路中的应用展开，列举了丰富的案列，在汇报最后对AI的优势及待提高点进行了总结。提到了AI在集成电路中的发展趋势，未来AI在集成电路设计与制备领域的应用将更加成熟和完善，将成为电子行业中的关键技术和竞争力，推动电子行业的发展和转型。

　　最后所级中心孙浩副主任就本次活动进行了总结，表扬了同学们在本次实习中的优异表现，汇报展示具有创新思维，希望同学们在之后的学习生活中更多的结合时事，持续关注集成电路在国内外的发展趋势，抓住AI在集成电路中的应用这一热点，并鼓励同学们在之后的求学过程中，保持积极探索的求学心态。同学们纷纷表示在这次交流活动中学到了很多，对微纳加工工艺有了更具体的了解，学习了光刻工艺全流程，亲手参与了样品的制作，度过了一段快乐难忘的学习时光。

　　本次上海微系统所与上海大学微纳加工技术交流会圆满结束。