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上海市长宁区865号simco@mail.sim.ac.cn2019年8月19日，伊比利亚国际纳米技术实验室（INL）总干事Lars Montelius教授一行四人来我所访问，我所赵建龙副所长、传感技术联合国家重点实验室、信息功能材料国家重点实验室，以及所级公共技术服务中心的科研骨干等参加交流。
INL是欧洲第一家也是唯一一家专门研究微纳科学与技术的国际研究组织，由葡萄牙和西班牙两个国家共同成立的政府间组织，与欧洲粒子物理研究所、欧洲分子生物学实验室并列成为欧洲三大国际科研机构，研究领域包括纳米电子学、生命科学、量子材料与科学技术、微纳操控技术和新能源与新材料等。
赵建龙副所长代表上海微系统所对Lars教授一行表示欢迎，并介绍了我所的发展历史、科研方向、“三位一体”创新模式以及国际合作等方面的情况。传感技术联合国家重点实验室、信息功能材料国家重点实验室分别介绍了实验室的研究工作以及科研平台建设情况。Lars教授介绍了INL发展规划、科学研究以及全球合作情况等，双方并就相关研究领域进行了深入的讨论与研讨。2019年6月赵建龙副所长带队对INL进行访问，为双方开展交流与合作奠定了良好的基础。此次Lars教授访问我所进一步增进了双方的了解，双方将在科研平台建设，人才联合培养，合作研究等方面开展实质性战略性合作。
Lars教授一行还参观了我所展厅、信息功能材料及微结构表征平台和超导材料与器件平台。
2019年10月8日，应赵建龙副所长邀请来自于丹麦科技大学、丹麦微纳米加工中心的首席工程师史佩雄先生、系统与质量控制专家Th？ger Eskildsen博士、工艺专家Berit Herstr？m博士来我所进行技术交流活动，史教授、Th？ger Eskildsen博士与Berit Herstr？m博士介绍丹麦微纳米加工中心具有国际先进的微纳米半导体工艺加工能力和结构/微结构分析与成分分析能力，中心设备信息化管理系统，高效先进的工艺线运行，工艺管理技术交流会。在交流会期间，参会人员还参观了所级中心各平台，学习和了解所级中心的管理方法和经验。与会代表一致认为此次技术交流会给大家提供了一个非常好的展示和交流平台，使中心各平台的整体技术支撑水平得到快速提升。
2018年10月11-12日，中国科学院大型仪器区域中心“物质科学与先进制造领域”2018年度片区交流会邀请所级中心首席科学家程建功研究员、微纳加工工艺技术专家杨恒研究员参加片区交流会，并做专题报告。首席科学家程建功研究员就基于荧光传感技术、超灵敏特性的微型传感器器件的最新进展及其在毒品、爆炸物探测等安检方面的技术发展与应用。微纳加工工艺技术专家杨恒研究员就所级中心MEMS平台的微纳加工技术能力，微纳加工工艺存在的技术挑战等方面做了专题描述。同与会专家就微型探测器件的应用范围、器件的市场化及微纳加工技术等进行技术探讨。
2018年8月，所级中心高秀丽主任带队赴丹麦技术大学国家微纳加工中心进行“先进半导体微纳加工制造技术信息化管理系统”专项培训。学习国外先进半导体微纳加工制造技术信息化管理系统的发展历程以及研究发展的现状，包括人员设备在管理方面的主要核心思想、人员设备管理系统在当前条件下所存在的各种问题，并在未来可能面临的机遇及挑战。其核心是在常规的设备管理基础上,通过以太网通讯技术,实时显示设备的运行状态,实时监控；同时还将设备上的运行参数的数据,传送到数据库,进行设备与工艺参数数据信息记录收集。
工程师通过这些数据,提前进行维护维修工作，减少设备在运行过程中的故障发生次数。直接调用工艺参数，进行工艺优化对比，选择合适的设备和工艺进行器件加工工艺。对设备维护所需的备件进行管控,提高工作效率。双方确立了将在微纳加工制造技术信息化管理方面合作及平台定期互访交流。
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