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上海市长宁区865号simco@mail.sim.ac.cn2023年6月12日-7月10日，中科院上海微系统所联合上海大学开展了为期近一个月的微纳加工技术交流会。上海大学张继军老师，我所公共技术中心孙浩副主任，研究生部张腾胶主管带队，共12名大三学生参加本次实习交流活动。
第一周以工艺工程师讲授理论课程为主，课程包含刻蚀工艺设备基础培训、扫描电镜基础理论培训、微纳加工辅助设备培训、光刻工艺入门培训等。工程师结合实际案例与理论知识，深入浅出的讲解了各台设备运行原理与使用要点，为接下来的实践课程打下基础。
第二周、第三周为实践课程，同学们从自身的兴趣出发，设计并制作了具有个性化图案的光刻版，参与了所级中心为同学们准备的光刻工艺、刻蚀工艺，镀膜工艺等体验课程。在课程最后，同学们收到了自己设计与制作的工艺样品，并用扫描电镜表征了样品的厚度和形貌。
7月10日，同学们以小组汇报的形式对本次交流活动做了总结。第一组同学的汇报围绕光刻技术展开，介绍了先进光刻技术导向自主装DSA、基于空间光调节器的多焦点并行光刻技术、基于专利数据的全球光刻技术竞争态势研究。着重介绍了先进光刻技术导向自主装DSA，提出了在实际芯片制造中，其版图并非简单的规则图形，而是极具巧思的复杂结构，为了能够使DSA光刻技术发挥作用，需制备符合DSA图形化的引导图形。
第二组的汇报以AI在集成电路中的应用展开，列举了丰富的案列，在汇报最后对AI的优势及待提高点进行了总结。提到了AI在集成电路中的发展趋势，未来AI在集成电路设计与制备领域的应用将更加成熟和完善，将成为电子行业中的关键技术和竞争力，推动电子行业的发展和转型。
最后所级中心孙浩副主任就本次活动进行了总结，表扬了同学们在本次实习中的优异表现，汇报展示具有创新思维，希望同学们在之后的学习生活中更多的结合时事，持续关注集成电路在国内外的发展趋势，抓住AI在集成电路中的应用这一热点，并鼓励同学们在之后的求学过程中，保持积极探索的求学心态。同学们纷纷表示在这次交流活动中学到了很多，对微纳加工工艺有了更具体的了解，学习了光刻工艺全流程，亲手参与了样品的制作，度过了一段快乐难忘的学习时光。
本次上海微系统所与上海大学微纳加工技术交流会圆满结束。
会议伊始，区域中心管委会委员/上海微系统所赵建龙研究员致欢迎辞，代表管委会对大家一年多来的辛勤工作及对科研支撑所取得的成绩表示衷心感谢，希望通过本次会议能够进一步加强各成员单位间的交流与合作，聚力推动仪器开放共享、公共技术平台建设及技术支撑队伍建设。
本次会议对2022年度中心先进集体和个人进行了表彰，号召向优秀代表学习。
会议特别邀请了上海生命科学大型仪器区域中心的张文娟主任做了《科技部共享评价系统经验共享》的专题报告，现场分享了分子细胞卓越创新中心在大型科研仪器资源共享与高效利用上的经验，并对考核标准及申报过程中的注意事项及要点做了详细介绍。
在随后的交流报告环节，来自区域中心各成员单位的参会代表分享了在各自领域凝练的经验和成果，参会人员畅所欲言、深入交流、收获满满。会议进一步加强了上海材料与制造大型仪器区域中心各成员单位之间的交流协作与相互促进，希望更加有效推动科研支撑平台的建设和发展，提升支撑队伍技术服务能力。
2022年12月9日，上海材料与制造大型仪器区域中心、北京信息电子技术大型仪器区域中心联合举办了科研“重器”应用与技术交流会。区域中心相关15个研究所，70多名技术人员通过线上与线下相结合的形式参加了本次交流会。
会议邀请TESCAN、卡尔蔡司、日本电子与安徽创谱四家设备厂商做了应用技术报告。报告着眼于设备的新技术，新领域，新工艺，并就如何扩大设备应用范围，提高设备的使用效率进行了探讨，以便更好支撑科研工作。
围绕支撑研究所科研产出的重大科研装备，突出各研究所在本领域的技术优势，会议邀请各单位重要装备的技术骨干做技术分享。
报告人分别介绍了各所的特色设备装置与支撑的重要工作，并分享了应用过程中遇到的工艺难点与解决方法，为与会技术支撑人员打开了新的思路与方向，提升了技术支撑能力。
上海微系统所赵建龙研究员、北京半导体所杨富华研究员对本次交流会表示了认可：区域中心是中科院技术支撑体系的重要交流平台，是技术人员交流合作的纽带，技术人员是科研工作重要组成部分，仪器设备又是科研不可或缺的一部分，希望双方区域中心能多开展技术交流活动，更好的为科研工作提供支撑。
2019年8月19日，伊比利亚国际纳米技术实验室（INL）总干事Lars Montelius教授一行四人来我所访问，我所赵建龙副所长、传感技术联合国家重点实验室、信息功能材料国家重点实验室，以及所级公共技术服务中心的科研骨干等参加交流。
INL是欧洲第一家也是唯一一家专门研究微纳科学与技术的国际研究组织，由葡萄牙和西班牙两个国家共同成立的政府间组织，与欧洲粒子物理研究所、欧洲分子生物学实验室并列成为欧洲三大国际科研机构，研究领域包括纳米电子学、生命科学、量子材料与科学技术、微纳操控技术和新能源与新材料等。
赵建龙副所长代表上海微系统所对Lars教授一行表示欢迎，并介绍了我所的发展历史、科研方向、“三位一体”创新模式以及国际合作等方面的情况。传感技术联合国家重点实验室、信息功能材料国家重点实验室分别介绍了实验室的研究工作以及科研平台建设情况。Lars教授介绍了INL发展规划、科学研究以及全球合作情况等，双方并就相关研究领域进行了深入的讨论与研讨。2019年6月赵建龙副所长带队对INL进行访问，为双方开展交流与合作奠定了良好的基础。此次Lars教授访问我所进一步增进了双方的了解，双方将在科研平台建设，人才联合培养，合作研究等方面开展实质性战略性合作。
Lars教授一行还参观了我所展厅、信息功能材料及微结构表征平台和超导材料与器件平台。
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