透射电子显微镜在材料科学、凝聚态物理学、生物学和化学领域中已经是一种常用的研究工具，其最大的优势是具有纳米量级甚至更高的分辨率，利用高性能的透射电子显微镜可以在原子尺度范围内探测物质的结构和化学成份，揭示物质变化的内在显微结构和各种宏观性能之间的关系。

　　配备物镜球差校正器：显著提高了TEM的分辨率，可以实现超高分辨率的透射观察(80pm)，可通过直接的原子像表征开展表面、界面、缺陷等材料原子结构相关研究。
　　配备聚光镜球差矫正器：显著提高了STEM的分辨率，可以实现超高分辨率的扫描透射观察(82pm)，可通过环形明场(ABF)、环形暗场(ADF)和高角度环形暗场(HAADF)研究材料的轻重原子分布和占位，并结合X射线能谱得到材料原子分辨率的成份分布。
　　配备超高灵敏度的X射线能谱(多探头无窗能谱)可探测B以上元素，得到原子分辨率的成份分布，微量元素含量低至0.1at.%即可进行表征，可进行能谱的三维成份重构。