1）分辨率1.0nm@15kV，1.7nm@1kV，4.0nm@1kV；2）放大倍数12~900000；3）加速电压：01~20KV 

1）最大测试样品尺寸430mmx430mm；2）最小R寸1μmx1μm；3）X/Y轴定位光栅精度≤0.1μm；4）机械重复定位精度±0.1μm。