材料器件工艺与表征平台拥有器件制备、材料验证和表征测试等先进微纳加工与表征测试设备，具备长期技术积累与专业服务能力，能满足射频、光电、压电、生物传感等多种核心功能器件与新型前沿交叉器件加工制备与表征测试需求。