电子束、Xe离子束及激光束集一体的三束显微分析仪,主要用于截面表征,配合EDS可同时对截面结构进行成分分析;TEM样品制备，有效避免样品Ga污染;激光束主要用于大尺度(毫米级)截面样品加工，其适用于各类材料研究,能够实现深埋结构切割观察。