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硅基材料与集成器件实验室

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科研进展
  • [2020-05-20]上海微系统所在Ⅳ族GeSn纳米线研究中取得新进展
  • [2020-04-26]上海微系统所在锗基石墨烯帕尔贴效应研究中取得重要进展
  • [2020-04-14]上海微系统所加速科技成果落地应用支持复工复产
  • [2020-03-26]上海微系统所“万能离子刀”超高线密度光栅制备成果入选2019年中国光学十大进展
  • [2020-01-09]欧欣研究员与复旦郭艳辉副教授合作在高效催化电极基底材料方面取得重要成果
  • [2020-01-09]中科院上海微系统所与西安电子科技大学合作在超宽禁带半导体异质集成研究中取得重...
  • [2020-01-09]上海微系统所在超导纳米线单光子探测器的性能调控及机理研究方面取得重要进展
  • [2020-01-09]采用反向外延技术实现晶圆级亚50nm周期的多层膜光栅器件制备
  • [2020-01-09]功能薄膜三维卷曲构造方面取得进展
  • [2020-01-09]上海微系统所在石墨烯纳米气泡可控制备及其赝磁场研究方面取得重要进展
  • [2019-12-03]上海微系统所在水平石墨烯p-n异质结阵列构建及其光电探测研究方面取得重要进展

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