| 主任 | 王曦 | 院士 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 副主任 | 陆卫 | 研究员 | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 委员 | 解思深 | 院士 | 中国科学院物理研究所 |
| 委员 | 薛其坤 | 院士 | 清华大学 |
| 委员 | 张泽 | 院士 | 浙江大学 |
| 委员 | 祝世宁 | 院士 | 南京大学 |
| 委员 | 陈仙辉 | 院士 | 中国科技大学 |
| 委员 | 封松林 | 研究员 | 中国科学院上海高等研究院 |
| 委员 | 齐鸣 | 研究员 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 委员 | 王镇 | 研究员 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 委员 | 吴汉明 | 研究员 | 中芯国际集成电路制造有限公司 |
| 委员 | 张卫 | 教授 | 复旦大学 |
| 委员 | 宋志棠 | 研究员 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |