简历：

    杨恒，男，博士，研究员，博士生导师。于2001年在复旦大学获博士学位，2001年-2003年在荷兰Delft University of Technology做博士后研究工作，自2003年加入中国科学院上海微系统与信息技术研究所，2006年起任研究员、博导，担任工信部产业发展促进中心专项分委会专家委员，国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”专项责任专家。

    杨恒从事硅振荡器、惯性传感器、微纳加工与封装技术，以及空气阻尼与噪声理论等研究工作。研制的十二梁结构加速度传感器成功向中电集团某研究所转让。研制的恒温控制硅基时钟振荡器向某国际领先的ICT基础设施和智能终端提供厂商授权。在空气阻尼、相位噪声等相关理论方面也取得成果，发表的空气阻尼方面的系列论文合计引用794次。作为负责人完成了国家与部委级项目8项，包括863课题3项、973课题1项。在SCI源期刊和IEEE MEMS、Transducers等顶级国际会议发表论文60多篇，论文引用1200多次，授权国家发明专利20多项。合作撰写了Esashi主编的专著《3D and Circuit Integration of MEMS》中第二章《Bulk Micromachining》。