冯飞，博士，中国科学院上海微系统与信息技术研究所研究员、博士生导师。2004年6月在中科院上海微系统与信息技术研究所获博士学位，同年留所工作至今，2012年5月-2013年5月于美国加州大学伯克利分校微传感器与执行器中心（BSAC）做访问学者。

冯飞长期从事微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）和微纳传感器领域的研究工作，作为项目负责人已完成或正承担了国家自然科学基金、国家重点研发计划、863计划、上海市科技重大专项、中科院战略先导专项等相关课题多项，并取得了多项创新性成果：发明了可控XeF2腐蚀技术，并成功用于光读出红外成像焦平面阵列器件的单面制作，获得了室温物体的红外图像；攻克了微色谱芯片跨微纳集成设计、制造关键技术，研制出了我国首套深海MEMS气相色谱仪并搭载“深海勇士”号载人深潜器完成了深海海试。相关核心技术申请专利47件，已授权27件；发表论文60余篇，相关研究成果发表于本领域著名国际期刊Sensor. Actuat. B-Chem.、Talanta、J. Chromatogr. A、J. Micromech. Microeng.以及本领域论文高选择性系列著名国际会议IEEE MEMS，IEEE Transducers。