| 专利名称 | 申请号 | 申请日期 |
|---|---|---|
| 微机械热电堆红外探测器的制造方法 | 00116388.4 | 2000-6-7 |
| 乙肝病毒多态性检测芯片的制作方法及其应用 | 00116875.4 | 2000-6-30 |
| 一种用于微机械器件制作玻璃/硅键合装置及其使用方法 | 00116305.1 | 2000-6-2 |
| 玻璃上的硅光波导材料及其制作方法 | 00115581.4 | 2000-4-29 |
| 一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法 | 00115582.2 | 2000-4-29 |
| 栅型结构电容式微机械谐振陀螺 | 99239775.8 | 1999-9-29 |
| 绝缘体上的硅高温超高压力传感器的制作方法 | 99124238.6 | 1999-12-10 |
| 一种氧化物巨磁电阻薄膜制备方法及其用途 | 98122068.1 | 1998-12-4 |
| 以氧化铝（AlN)为绝缘埋层的SOI材料制备方法 | 98122067.3 | 1998-12-4 |
