专利
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专利名称 申请号 申请日期
玻璃上的硅光波导材料及其制作方法 00115581.4 2000-4-29
一种大角度Y分支硅光功率分配器的制作方法 00115582.2 2000-4-29
栅型结构电容式微机械谐振陀螺 99239775.8 1999-9-29
绝缘体上的硅高温超高压力传感器的制作方法 99124238.6 1999-12-10
一种氧化物巨磁电阻薄膜制备方法及其用途 98122068.1 1998-12-4
以氧化铝(AlN)为绝缘埋层的SOI材料制备方法 98122067.3 1998-12-4