为确保我所推荐2012年度国家科技奖励项目的公正性，根据国家科技奖励工作办公室《关于2012年度国家科学技术奖励推荐工作的通知》（国科奖字〔2011〕64号）要求，现将我所推荐的国家科技奖励候选项目在此进行公示，公示无异议或虽有异议但经处理后再次公示无异议的项目方可推荐国家科技奖。

侯选项目名称：基于工艺选择性的MEMS三维制造关键技术与设计方法

主要完成人：王跃林、鲍敏杭、李昕欣、李铁、熊斌、罗乐

奖种：技术发明奖

项目简介：该成果发明了多层硅微机械结构一次成型技术、垂直平面微反射镜制造技术、干法刻蚀电荷释放和可动结构保护技术、基于等温凝固法的圆片级封装技术和微机械器件动力学设计模型，以发明的专利技术为核心，形成了制造工艺组合和制造技术平台，实现了多种MEMS传感器的批量生产，在汽车、家庭医疗和消费电子等产品中应用。

自公布之日起，任何单位和个人对公布的情况有异议，或有文字错漏需要更正的，应当以真实身份书面向科技处提出，匿名异议不予受理。

联系人：郑殷

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特此公告。