12月1日下午，上海微系统所召开了全国纳米技术标准化技术委员会微纳加工工作组2012年年会。全国纳米标委会微纳加工工作组委员夏洋、宋志棠、陈宝钦等20多名委员参加了会议，并特别邀请全国纳米技术标准化技术委员会副主任沈电洪、办公室主任王孝平出席了本次会议。会议由上海微系统所所长助理宋志棠研究员主持，国家纳米中心王孝平研究员、中科院物理所沈电洪研究员做出重要讲话。各位专家委员就2012年度在微纳加工标准化方面的工作一一做了详细的介绍，并对下一步工作计划提出建议。会议现场气氛活跃，大家各抒己见，认真讨论了半导体、光学、太阳能等领域在纳米加工、尺寸测量以及电特性测量等微纳米检测等标准制定过程中遇到的问题及解决方案。

沈电洪研究员强调在当前竞争激烈的形势下，我们纳米标委会微纳加工工作组力求具有全国代表性，努力开展工作，争取在基础好的地区建立工作小组，吸引更多成员加入到我们的队列。

王孝平教授指出中科院领导大力支持标准化方面的工作，并且树立成立全国纳米技术标准化技术委员会分委会的目标。

夏洋研究员强调要大力开展纳米加工技术标准的宣传工作，让我们的工作更好地与科研、生产等紧密结合起来。

宋志棠研究员总结了全国纳米标委会微纳加工工作组2012年会，并强调我们要逐步完善组织，努力做到具有全国代表性；按照全国纳标委分标委的要求做出规划，争取早日成立全国纳标委分委会；分委会委员起到推动标准制定的核心力量的作用，积极推荐一些与纳米测试加工与检测紧密结合的，具有原创性地、能推动科研成果产业化的，对国家重大项目和工程具有推动作用的，与企业紧密结合的，对行业的生产起指导作用的等微纳加工标准到国家层面上，最终获得真正为我国相关领域的科研及产业化工作指导及服务的微纳加工方面的标准。

全国纳米技术标准化技术委员会纳米加工技术工作组成立于2009年，由中科院微电子中心夏洋研究员、中科院上海微系统所宋志棠研究员等23名委员组成，其中夏洋任组长，宋志棠任委员兼秘书长，陈宝钦、韩立、刘卫丽任委员兼副秘书长，秘书处挂靠单位为中国科学院上海微系统与信息技术研究所。主要工作领域为：全国纳米加工技术标准的规划；纳米加工技术基础标准（名词术语、设计、工艺、方法、测试、表征）的制修订；与纳米加工技术有关的材料、产品、封装、装备及服务的国家标准的制修订；承担对口ISO/TC229、IEC/TC113和SEMI国际标准化组织中与纳米加工技术有关的工作。