根据中央关于巡视工作的部署和要求，依据《中国科学院巡视工作实施办法》的有关规定，11月21日至23日，以中科院巡视工作办公室主任李晓光为组长，人事教育局原副局长黄海霞、监察审计局、人事教育局组成的中科院巡视组到微系统所开展巡视工作。

11月21日上午，巡视组首先召开了所领导班子及有关负责人会议。微系统所长王曦，党委书记、副所长齐鸣，副所长赵建龙、王跃林，党委副书记、纪委书记俞跃辉，党委委员、纪委委员、各研究室负责人、管理（支撑）部门负责人、工会职代会负责人、离退休老干部工作负责人、支部书记代表及研究生代表共50余人参加了会议。

李晓光首先结合当前党风廉政建设和反腐败工作的形势，深刻阐述了中央组织开展巡视工作的目的和重要意义，并就近年来中科院开展巡视工作情况、本次巡视工作程序和要求作了介绍。他强调，开展巡视工作对于加强社会主义政治文明建设、党的自身建设、领导班子及领导干部队伍建设、党风廉政建设和促进研究所的健康发展具有重要意义。

王曦代表所领导班子从研究所的基本情况、科研工作、管理工作及制度建设、人才队伍建设及研究生教育、党建工作及创新文化建设、存在的问题及努力方向六个方面向巡视组作了汇报。针对发展中存在的问题，微系统所将以科学发展观为指导，按照中科院“创新2020”方案的总体要求，进一步明确目标定位，扎实转变观念，整合优势学科，加强人才队伍建设，努力实现新的创新跨越。

会议结束后，按照工作程序，巡视组分3个小组分别与所领导班子成员，党委委员、纪委委员，科研一线骨干，管理、支撑部门负责人及重要岗位的工作人员，工会、职代会、妇委会、离退休老干部代表，中青年科技人员代表、研究所控股参股企业代表和研究生代表等100余人进行了谈话，并请谈话人员填写了巡视工作调查评价表，深入了解了所领导班子的相关情况以及科研、管理、党风廉政建设等方面的情况。巡视组还检查了所务会议、所长办公会议、党委会议、纪委会议等相关会议记录和会议纪要，查阅了研究所各种规章管理制度等相关材料。

期间，巡视组一行参观了所史陈列室，并实地考察了研究所嘉定园区。