3月14日，上海微系统所团委举办了微光刻与电子束光刻技术讲座，中科院微电子所陈宝钦研究员受邀来为青年科研骨干以及学生做专题讲座。

电子束光刻技术是推动纳米电子学和微纳米加工发展的关键技术之一，陈宝钦研究员多年来一直从事光掩模与先进掩模制造技术、电子束光刻技术、微光刻与微纳米加工技术研究和开发工作。讲座中陈宝钦研究员为我们介绍了国内外微光刻与微纳米加工技术发展历程，并且也展望了下一代光刻技术及传统与非传统的纳米制造技术等。

所团委希望通过这类专题讲座，能为所内青年科研骨干以及学生带来新的科研动向，在工作中不断激发创新意识。