按照质量体系的要求及所本年度计划，微系统所于8月17日～8月24日进行了质量管理体系内部审核。8月17上午，微系统所召开了2009年度质量管理体系内部审核首次会议，所领导、各部门负责人、各研究室行政副主任及内审员参加了本次会议。

在首次会议上，党委书记王曦做了重要讲话。王书记要求各相关部门要充分认识到质量工作的重要性，并在工作中得以体现；同时他也对微系统所下一步质量工作提出了指导意见，希望积极探索研究所质量工作的方法，建立适合研究所特色的质量体系，不要照搬企业的做法；要求质量工作要结合科研项目的实际流程，根据不同类型科研项目及产品进行有针对性的分类管理；要严格按照质量体系的要求进行规范管理，做到“做为所写，写我所做”，保证所质量体系顺畅运行，持续改进，不断完善。

此次内审覆盖了全所12个管理及研制部门，由12个内审员分成4组对各部门进行了认真、细致的审核。审核获取的客观证据表明：所领导重视质量管理体系的建设, 人力资源和基础设施投入加强，全员质量意识进一步提高，产品研制和服务过程受控，产品质量符合规定要求，服务工作顾客满意，质量管理体系运行正常、有效。通过审核，也发现一些存在的问题，如人员变动频繁导致的质量工作脱节，部分程序文件及工作标准与实际情况不符，部分研制工作随意性太强等等。这些都是今后质量工作需要逐步解决的问题。

在现场审核及汇总分析工作完成之后，微系统所于8月27日上午召开了内部审核末次会议，齐鸣副所长、刘海涛副所长做了总结讲话。所领导充分肯定了本次内审工作，同时建议质量工作要进一步消除“两张皮”的问题，结合实际情况进行分类管理，简化流程，抓住重点，让质量工作落到实处。