11月26日，由三室主任宋志棠研究员承担的2005年度 院科研装备研制项目“多功能磁控等离子体工艺系统”通 过专家验收。验收会由院计划财务局田东生主持，科技处 处长胡善荣参加了会议。

    测试专家组对设备技术指标进行了现场测试，对实验 记录进行了核实，一致认为“多功能磁控等离子体工艺系 统”各项测试技术指标均满足合同要求。验收专家组听取 了项目组的工作总结报告和测试组的测试报告，审查了项 目组提供的技术报告等有关资料，进行了充分提问和热烈 讨论，并现场核实设备的就位和运行状态，认为“多功能 磁控等离子体工艺系统”设备主体和相关部件全部就位、 仪器运行正常、达到预定技术指标、技术档案齐全、经费 使用合理，专家组一致同意通过项目验收。

    “多功能磁控等离子体工艺系统”项目是我所承担的 院里第一项仪器研制项目，该项目在仪器的功能集成创 新、系统智能化自动控制、高性能嵌入式固体电源等方面 取得创新性研究成果，申请发明专利4项，发表SCI论文16 篇。该项目的顺利验收标志着我所的仪器研制水平上了一 个新台阶。