






11月7日,上海市科委组织专家对我所承担的“微机电 系统(MEMS)平台建设”项目进行了验收。 验收专家组听取了项目负责人王跃林研究员的汇报, 审阅了相关文档并现场考察了漕河泾分部MEMS工艺平台。 经认真讨论,验收专家组一致认为本项目实现了MEMS研发 平台向工程化平台的提升,扩大了MEMS技术平台的服务 面,建成了以芯片和封装相结合为特色的、处于国内领先 水平的MEMS工程化基地,成为我国目前尚为数不多的、有 一定规模的MEMS技术辐射中心之一,项目已完成了预定的 任务,达到了规定的考核指标,同意通过验收。 |