在国家科技部863项目“微机电系统”重大专项的支持 下，中国科学院上海微系统所与南京石油物探研究所紧密合 作，经过将近两年的努力，克服重重困难，研制成功以国产 MEMS加速度计为核心的石油勘探地震检波器。

    2005年8月25日凌晨，试验人员把试制的MEMS检波器在 东北敦化山区作了野外试验。试验与实际生产同步，生产用 的检波器采用12只常规检波器串联提高信噪比，MEMS检波器 为单点接收,７８只MEMS检波器与生产用的检波器（４８０ 道/炮）同点埋放，检波器间距20米，MEMS检波器排列长度 １５６０米。这次试验数据经过简单带通滤波处理表明， MEMS检波器接收的单炮记录接近于传统检波器串接收的记 录，并且MEMS检波器接收记录的同相轴分辨率比传统检波器 串要高；MEMS检波器的迭加剖面图和传统检波器的迭加剖面 图比较，目的层以上有效波组清晰，易分辨，深层波组也能 分辨，并且基本能反映地下构造。同时这次试验是在实际生 产的条件下完成的，在较差的环境中取得了较好的试验结 果。

    目前我们试制的MEMS检波器在前几次试验的基础上，改 善了加速度计的检测电路，克服了加速度计自身干扰信号， 改进了封装工艺，从而在性能上有了较大改善，在实用化方 面取得了重要进展。基于MEMS加速度计的地震检波器在频 带、动态范围和轴向抗干扰性等性能指标上优于传统检波 器，经过进一步性能改进和提高后，完全有能力应用于石油 勘探行业并逐步替代传统检波器，这对于提高微系统加工和 封装平台的产业化能力、降低石油勘探成本和风险、提升石 油勘探行业的技术水平具有重要的社会效益和经济效益。