8月19日，半导体功能薄膜工程技术研究中心举行了设 备验收会暨我所与天美公司联合成立日立电子显微镜示范实 验室揭牌仪式。所长封松林、上海市纳米中心何丹农部长、 副所长王曦、所长助理夏保佳、科技质量处处长赵建龙和主 管胡善荣等专家参加了会议。

    科技质量处处长赵建龙主持了设备验收会。会上，中心 主任宋志棠研究员代表课题组感谢上海市纳米中心和所创新 工程项目的鼎力支持。他介绍，目前场发射扫描电镜、电子 束曝光机、低温等离子体键合键合系统均已调试成功，处于 试运行阶段。场发射扫描电镜分辨率可达1.5nm，电子束曝 光机可制备80nm的图形，低温等离子体键合系统也可提供3- 4英寸的晶片低温键合工艺。宋主任表示，在这些设备引进 和调试过程中，项目组工作人员和研究生全员参与、齐心协 力、加班加点、认真负责，尤其是刘卫丽与刘波副研究员起 到了表率与骨干的作用；科技质量处胡善荣同志在商务合同 谈判中做出了很大的努力，每台设备都经过仔细调研与比较 分析，并获得相当优惠的价格。与会期间，各位专家就新设 备所需的维护费用等问题提出了相关的建议，最后，一致同 意通过设备验收。

    验收会后，各位专家会同日立电子显微镜代理－天美公 司市场总监谢宝华、华东地区总经理卞征宇、销售部经理彭 艳红、维修部副经理许建新和工程师张培景参加了我所与天 美公司联合成立日立电子显微镜示范实验室的揭牌仪式。宋 志棠研究员介绍了示范实验室成立背景与筹建情况；所长封 松林和谢宝华总监为日立电子显微镜示范实验室揭牌；上海 市纳米中心何丹农部长首先祝贺天美公司在上海微系统所建 立示范实验室，希望双方紧密合作，取得更多的合作成果， 发挥扫描电镜在纳米技术上的作用。天美公司市场总监谢宝 华先生感谢微系统对其公司的支持，此次示范实验室是天 美、日立在华东的第一个，也是国内的第六个，希望三家强 强合作，出更多的科研成果。

    最后，与会的各位专家、领导以及天美公司的出席代表 在宋志棠主任及课题组其他成员的陪同下参观了实验室。