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“中科院外国专家特聘研究员”S.V Babu教授访问上海微系统所
2010年03月19日    三室

S.V Babu教授访问上海微系统所

S.V Babu教授与抛光液科研人员友好交流

所长助理俞跃辉向S.V Babu教授介绍上海微系统所

应宋志棠研究员邀请,3月18日,中国科学院外国专家特聘研究员、美国克拉克森大学先进材料处理中心主任、化学机械抛光权威科学家S.V Babu教授前来上海微系统所学术访问。

在上海微系统所所长助理俞跃辉、宋志棠研究员等人的陪同下, Babu教授先后参观了所史陈列室、纳米技术研究室。随后,S.V.Babu教授做了题为“Tunable RR Selectivities of Oxide, Nitride and Polysilicon during CMP”的学术报告,上海微系统所三室的部分科研人员和研究生聆听了Babu教授的精彩报告,并就抛光液产业化和学术研究中碰到的各种问题与教授进行了深入友好的交流。Babu教授的此次访问只是一个开端,作为“外国专家特聘研究员”,Babu教授将对微系统所抛光液项目的研究、研究生的培养给予更多帮助和支持。

纳米抛光液产业化,形成具有自主知识产权的国产IC用抛光液,对于打破国外垄断、促进我们半导体技术发展具有重要的战略意义。S.V.Babu教授此次访问微系统所,将会进一步加快微系统所与抛光液领域权威机构的合作,有望对纳米抛光液产业化起到重要的推动作用。

 

 

 

 

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