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第十三届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议成功举办
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两岸企业家峰会副理事长盛华仁一行来所调研
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中科院副院长丁仲礼一行到上海微系统所调研指导工作
MEMS协同创新工作会议召开
微系统所俞跃辉研究员获得亥姆霍兹国际合作奖
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