10月26日，国家自然科学基金委副主任孙家广院士等一行九人对上海微系统所创新研究群体项目“微纳系统材料、制造与器件物理”进行了现场考核。微系统所长王曦院士、副所长王跃林研究员、封松林研究员等群体项目参与人员、科技处副处长高秀丽参加了现场考核会。

封松林代表创新群体项目组在纳米材料与纳米效应、高性能微纳传感器和THz探测器、研究团队建设等方面目前取得的工作进展进行了总结，并介绍了延续支持阶段的工作总体思路。考核组在听取汇报后实地考察了太赫兹器件与通信测试平台、SOI材料平台，并观看了MEMS微纳传感器现场演示。

最后，考核组与群体成员进行了座谈，就创新群体的战略部署、延续支持阶段的工作规划等议题进行了讨论。考核组充分肯定了该研究群体取得的一系列创新性成果，并期望群体成员在今后的工作中继续面向国家应用需求，取得更多的技术突破。