三维原子探针采用了局部电极原子探针断层分析技术，是一种高性能原子级空间分辨率的测量和分析设备。可对各种单质或化合物材料的样品表面、界面等复杂结构通过对不同元素原子逐个进行分析，重构出纳米空间内不同元素原子的三维分布图形，并给出精准的元素空间含量分析。

　　三维原子探针设备可对材料进行可视化分析和定量分析。可视化分析包括：观察材料内部晶界、相界、结构界面及位错和缺陷等不同位置形貌。定量分析包括：材料内部组分确定，界面或晶界处的沉淀和偏聚的数量、密度和体积计算等。
　　视场范围≧200 nm；采集速度＞30000 ions/s；分析体积约5000000 nm3；质量分辨率＞FWHM
　　材料结构致密，分析区域内无孔洞；可制成100nm×100 nm×300nm形状针尖；非绝缘材料