中科院上海微系统所纳米技术研究室所属的半导体功能薄膜材料加工测试平台拥有包括纳米半导体薄膜材料制备、加工和测试等方面的多种仪器设备。其中，纳米半导体薄膜材料制备设备有：多功能等离子工艺系统、高真空磁控溅射设备、超高真空电子束蒸发设备；纳米半导体薄膜材料加工设备有：低温键合机、化学机械抛光机、快速退火炉、高温退火炉、反应离子刻蚀机、电子束爆光机；纳米半导体薄膜材料测试设备有：场发射扫描电子显微镜、PCRAM电子测试系统、变温霍尔系统、四探针电阻测试仪、I-V、C-V、高速示波器、逻辑分析仪、原子力显微镜。该平台目前可对外提供最大4的SOI、GeSi－OI和SOG等半导体材料以及3－4的ZnO、Ge2Sb2Te5、W、Pt、Ti、TiN、Al、Cu、AlN、SiO2、Si3N4等纳米薄膜材料，还可提供包括材料退火处理、薄膜材料的键合工艺、半导体器件制备以及材料的形貌、结构、电学性能和光学性能等方面的性能表征服务。