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工艺加工平台
测试封装平台
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上海市集成光学技术研究中心简介
上海市集成光学技术研究中心是由上海市科学技术委员会批准【沪科(2003)第008号】,并资助成立的对外开放的集成光学技术工艺加工与测试封装平台,提供集成光电器件工艺加工与测试封装服务。本中心位于上海市长宁路865号,依托于中国科学院上海微系统与信息技术研究所,是在上海市科学技术委员会和中国科学院知识创新工程的支持下,在上海微系统所原建立于上世纪70年代末的“化合物半导体器件工艺平台”的基础上经过改造、发展而成。中心目前包括两个组成部分:工艺加工平台和测试实验室。中心现有1000级净化厂房100平方米,10000级净化厂房250平方米,除对外提供加工、测试服务外,还承担了上海微系统与信息技术研究所的集成光电器件方面的工艺研究和工艺实现、测试与封装任务,使所内各种科研项目得以顺利完成,为上海微系统与信息技术研究所集成光电器件研究作出了重大贡献,同时协助培养了大批硕士、博士和优秀人才。目前作为上海市的集成光学技术工艺加工与测试封装的公共技术平台已全面对外开放,竭诚为高校、研究机构和相关公司提供加工、测试与封装服务。
通过二十多年来的不断发展,特别是近年来在上海市科学技术委员会和中国科学院知识创新工程的大力支持下,本中心拥有了较完备的各种先进工艺设备、测试与封装设备,能开展和完成各种集成光电器件的工艺、测试与封装研究。现工艺加工平台有进口的光刻机、PECVD淀积设备、RIE和ICP等离子刻蚀设备、磁控溅射设备、电子束镀膜机、解理划片机、超声金丝球焊机等主要设备,具有进行微米级线条工艺的加工能力,有光刻、光栅制作、PECVD淀积、反应离子刻蚀、磁控溅射金属、电子束蒸发、解理划片、镜面镀膜、器件装管、引线键合、器件特性测试等器件工艺。测试实验室主要测试设备包括:DWDM光器件测试系统、光波导自动对准系统、光谱分析仪、光纤熔接机、ASE宽带光源、稳定化光源、UV固化机、3-Axis、5-Axis调节架、光功率计、多通道数字示波器。实验室还购买了加拿大Optiwave公司的专业集成波导设计软件BPM、WDM Phasar和FDTD,可以实现集成波导器件的设计和仿真。中心将与我所的微系统技术国家级重点实验室共享器件可靠性测试系统相关设备。本中心承担着集成光电器件和微波器件等国家863、973重大科技项目和YY项目的实验研究和工艺开发、测试与封装任务。目前有三十多名研究人员和硕士、博士研究生、博士后在中心进行实验和课题研究工作。中心工艺平台严格按照ISO9000质量管理体系进行规范化管理,以提高整个工艺平台的工艺质量和服务水平,力求把它办成一个开放型、为上海地区的集成光电器件研发作出较大贡献的工艺研究和开发、测试与封装基地。 
为了提高本中心的水平和设备的使用效率,根据上海市科委的要求,面向国内外YH全方位开放,实现资源共享,欢迎全国相关单位的同行前来使用和洽谈合作:

   1)自带课题:化合物半导体器件工艺平台鼓励YH自带课题利用工艺平台的设备开展研究与开发工作,工艺平台将为YH提供技术帮助和各种方便。

   2)委托加工:化合物半导体器件工艺平台鼓励YH根据自己的需求提出加工要求,工艺平台将根据YH的要求提供相应的加工服务。

   3)委托研究:化合物半导体器件工艺平台鼓励YH根据自己的需求提出要研究开发的技术项目,工艺平台将安排人员为YH开发所需的技术。

   4)技术转让:如果YH需要,工艺平台在不涉及保密的情况下,愿将自己成熟的技术向YH转让,以实现产业化。

   5)提供小批量产品:根据YH的需要,工艺平台将为YH提供小批量产品。

   6)人才培养:技术平台还将通过培养研究生和工艺培训的形式为YH服务。

   联 系 人:李晓良(先生)
   联系电话:021-62511070转2113/2115
   传   真:021-62513510
   Email :xlli@mail.sim.ac.cn
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