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微机械空燃比传感器和生物传感器
中科院科技进步奖
中科院
1999-10-8
氧传感器微型化基础技术研究及其在医学和环保中的应用
上海市科技进步奖
上海市
1999-11-2
InP基OEIC结构的GSMBE直接生长与物理研究
上海市科技进步奖
上海市
1999-11-2
中远红外波段AlInAs/GaInAs/InP量子级联激光器材料
上海市科技进步奖
上海市
2000-12-15
用离子束技术改善人工心脏瓣膜材料的抗凝血性能研究
上海市科技进步奖
上海市
2000-12-15
光通信用微光机电关键技术
上海市科技进步二等奖
上海市
“创新一号”低轨通信小卫星
上海市科技进步奖
上海市
2004-12-19
CD-ROM/DVD马达驱动电路系列开发
上海市科技进步奖
上海市
2004-12-19
“创新一号”低轨通信小卫星
国家科技进步奖
国家科学技术委员会
2005-11-20
高端硅基SOI材料研究和产业化
上海市科技进步奖
上海市
2005-11-29
高性能硅微机械高冲击加速度传感器关键技术
上海市科技进步奖
上海市
2005-11-29
生物芯片系统研究与应用
上海市科技进步奖
上海市
2005-11-29
创新一号小卫星系统研究集体
中国科学院杰出科技成就奖
中科院
2008-5-8
高端硅基SOI材料研究和产业化
国家科技进步奖
国家科学技术委员会
2007-2-11
微波射频宽带MMIC芯片技术及其在交通信息采集雷达中的应用
上海市科技进步奖
上海市
2007-12-22
高端硅基SOI材料研究集体
中国科学院杰出科技成就奖
中科院
2008-5-8
MEMS关键设计与制造技术及应用
上海市科学技术发明奖
上海市
2006-11-24
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