扫描电子显微镜（HITACHI S4700/JSM-7800F）

　　l  设备简介

　　扫描电子显微镜是利用二次电子信号成像来观察样品表面形貌的表面分析仪器。场发射扫描电镜具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子像观察及图像处理。具有高性能X射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。

　　l  设备原理

　　被加速的高能电子束照射到样品上（在高真空状态下），入射电子束与样品的原子相互作用，产生各种信号，通过不同的探测器检测各种不同的信号，便可以得到有关样品表面的形貌和成分信息。最常见的探测方式是由电子束激发的原子发射的二次电子。

　　l  设备主要功能

　　ü  材料显微结构分析

　　ü  材料元素分析

　　l  设备技术指标

　　1）HITACHI S4700

　　ü  加速电压：0.5-30KV

　　ü  束流：1pA-2nA

　　ü  放大倍率：20-500000

　　ü  二次电子成像分辨率： （1KV，工作距离W.D. 1.5mm）; 1.5nm（15KV，工作距离W.D.12mm或EDX分析位置）

　　2.1nm

　　2）JSM-7800F

　　ü  加速电压：0.5-30KV

　　ü  束流：10-12—2×10 -7A

　　ü  放大倍率：20-1000000

　　ü  二次电子成像分辨率：1.0nm（15KV，normal mode） ；0.8nm（15KV，GB mode）；1.5nm（1KV，normal mode）；1.2nm（1KV，GB mode）；3.0nm（100V，GB mode）

　　l  测试样品要求

　　ü  固体样品，无磁性，导电性良好